クリーンルームについて

クリーンルームとは

空気中における浮遊微小粒子、浮遊微生物が限定された清浄度レベル以下に管理され
その空間に供給される材料、薬品、水やその他についても不純物、ゴミを取り除いて
ゴミを持ち込まないようにしようとする空間のことです。
(JIS Z8122 4001より一部抜粋)
※クリーンルームシステム図はコチラをクリック

清浄度(クラス)とは
作業空間内のホコリやゴミを限定した数に減らした数値を清浄度(クラス)という。
※クリーンルームは洗浄度(クラス)を管理可能。


温度・湿度・室圧管理可能
外部のゴミが進入しないよう室圧が制御可能
また温度、湿度を一定状態に維持するため
室内で使用する薬材、洗浄水を使用することにより粒子の濃度を制御可能

※クリーンルーム内が暑いと、中で作業する人が発汗し、汗を嫌う製品の場合に悪影響を与えてしまうため、温度管理が必要。


外からのゴミが進入しないように部屋の圧力を制御
室内の清浄された風は、「向き」「速さ」「風の形状」「気流の分布」を
一定の範囲に制御するために設計しています。



微粒子とは
肉眼で見ることができる限度の「100分の1」の粒子をいう。
例として)
0.5ミリのシャ-プペンの芯の細さの100分の1の小さい粒が微粒子の大きさ
微粒子は一般空気調和のエアフィルターで完全に取り除くことができないため
クリーンルームの設計段階で微粒子を外部から「入れない」「中で発生させない」様々な工夫がされている。

※ここでいうゴミをここでは、「微粒子」と呼ばせていただきます。