【クリーンルーム】

・クリーンルームとは
空気中における浮遊微小粒子
浮遊微生物が限定された清浄度レベル以下に管理され

その空間に供給される材料、薬品、水やその他についても
不純物、ゴミを取り除いて

ゴミを持ち込まないようにしようとする空間のことです。
(JIS Z8122 4001より一部抜粋)

※クリーンルームシステム図はコチラをクリック

・清浄度(クラス)とは
作業空間内のホコリやゴミを
限定した数に減らした数値を清浄度(クラス)という。

※クリーンルームは洗浄度(クラス)を管理可能。

・温度・湿度・室圧管理可能
外部のゴミが進入しないよう室圧が制御可能
また温度、湿度を一定状態に維持するため
室内で使用する薬材、洗浄水を使用することにより
粒子の濃度を制御可能

※クリーンルーム内が暑いと、中で作業する人が発汗し
汗を嫌う製品の場合に悪影響を与えてしまうため
温度管理が必要。


・外からのゴミが進入しないように部屋の圧力を制御
室内の清浄された風は
「向き」「速さ」「風の形状」「気流の分布」を

一定の範囲に制御するために設計しています。

・微粒子とは
肉眼で見ることができる限度の「100分の1」の粒子をいう。
例として)
0.5ミリのシャ-プペンの芯の細さの100分の1の小さい粒が微粒子の大きさ
微粒子は一般空気調和のエアフィルターで
完全に取り除くことができないため

クリーンルームの設計段階で微粒子を外部から
「入れない」「中で発生させない」様々な工夫がされている。

※ここでいうゴミをここでは、「微粒子」と呼ばせていただきます。