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【クリーンルームシステム】
1.超高性能フィルターで、空気を浄化。
2.浄化した空気を部屋一面に拡散。
3.拡散させた空気を空調機内に取込み。
4.取込んだ空気をプレフィルタで、一時濾過。
5.プレフィルタで一時濾過空気を循環ファンで
超高性能フィルターに送る。
6.室圧を陽圧にするために、外気を一部取り込む。
最初に
循環サイクル・エアーでクリーンルームを形成。
0.3μm以上の大きさの粒径を99.99%の
捕集効率を有する超高性能フィルターで
空気中のゴミや微粒子を捕集して清浄した空気を
クリーンルーム室内いっぱいに拡散。
拡散した室内の空気を
空調機の吸い込みに空気を還させます。
この流れを循環ファンにて循環サイクルを形成。
次に
クリーンルーム室内に
外部からの汚染の流入を防ぐために
クリーンルームの室内を
陽圧に保たせなければなりません。
陽圧を保つために外気処理をした空気を
超高性能フィルターの一次側である
空調機本体に取入れて循環エアーと混合。
取り入れる外気処理した空気量と
同様の空気量を排出することで陽圧を保つ。

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