クリーンルームシステム

  1. 超高性能フィルターで、空気を浄化。

  2. 浄化した空気を部屋一面に拡散。

  3. 拡散させた空気を空調機内に取込み。

  4. 取込んだ空気をプレフィルタで、一時濾過。

  5. プレフィルタで一時濾過、空気を循環ファンで超高性能フィルターに送る。

  6. 室圧を陽圧にするために、外気を一部取り込む。

最初に循環サイクル・エアーでクリーンルームを形成。
0.3μm以上の大きさの粒径を99.99%の捕集効率を有する超高性能フィルターで

空気中のゴミや微粒子を捕集して清浄した空気をクリーンルーム室内いっぱいに拡散。

拡散した室内の空気を空調機の吸い込みに空気を還させます。

この流れを循環ファンにて循環サイクルを形成。

次に、クリーンルーム室内に外部からの汚染の流入を防ぐために

クリーンルームの室内を陽圧に保たせなければなりません。
陽圧を保つために
外気処理をした空気を超高性能フィルターの一次側である

空調機本体に取入れて循環エアーと混合。

取り入れる外気処理した空気量と同様の空気量を排出することで陽圧を保つ。

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