最初に

循環サイクル・エアーでクリーンルームを形成。
0.3μm以上の大きさの粒径を99.99%の

捕集効率を有する超高性能フィルターで

空気中のゴミや微粒子を捕集して清浄した空気を

クリーンルーム室内いっぱいに拡散。

 

拡散した室内の空気を

空調機の吸い込みに空気を還させます。

 

この流れを循環ファンにて循環サイクルを形成。

次に

クリーンルーム室内に

外部からの汚染の流入を防ぐために

クリーンルームの室内を

陽圧に保たせなければなりません。
陽圧を保つために外気処理をした空気を

超高性能フィルターの一次側である

空調機本体に取入れて循環エアーと混合。

 

取り入れる外気処理した空気量と

同様の空気量を排出することで陽圧を保つ。